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產品詳情
泡生法藍寶石晶體生長爐
產品介紹
藍寶石晶體生長爐為采用電阻加熱方式的藍寶石單晶體生長設備，利用泡生法原理最大可生長出30-65公斤重的藍寶石晶體。設備中用于藍寶石生長的真空腔體采用立式結構，真空腔體，包括上頂蓋及底板都采用雙層水冷卻結構，上頂蓋可開啟。
工作原理
設備的工作原理是在真空環境中，通過電阻加熱將三氧化二鋁(AL203)原材料熔化，通過籽品引導，用精密上稱重技術進行微量提升法（泡生法）生長優質光學單品的設備。
設備組成
設備主要由真空爐體、稱重傳感器、品體提升和旋轉機構、熱場系統、電控系統、自動控制系統、真空抽氣機組、氣路系統、水路系統、安裝機臺等部分組成。
設備特點：
1、采用“分子泵+機械泵”的真空無油系統，節能隆耗、操作方便、長品環境更加潔凈，提高品體質量：2、進口定制全量程稱重傳感器，具有超高測量精度，保證品體成品質量：3、采用專利設計拉仲機構，控制精度高，抗干擾能力強：4、獨特設計的熱場結構，結合專業的長晶工藝，引品、生長過程易于操作、控制，成晶率高：
技術參數
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爐內真空極限 |
≤9×10-5Pa |
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長晶階段真空度 |
≤5.0×10-4Pa |
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最高熔煉溫度 |
1650℃ |
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爐體 |
爐體內尺寸（直徑*高）：750×1020(±5)m 爐體材料：內筒316L.,外筒304L 爐蓋升降行程：上下120mm旋轉180 |
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籽晶桿
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材質：主體為不銹鋼和銅焊接 生長晶體：允許生長重量30kg60kg 轉速/精度：1-201pm士5% 提拉速度連續可調范圍和精度：/0.05-2mm/h土2%FS，電源波動小于±5% 快提拉速度 連續升降可：10-100mm/min 稱重量程精度：0-100kg/±10g |
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壓縮空氣 |
壓力：0.70kgf/cm2 流量：2~7/min |
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氬氣 |
壓力：6~7kgf/cm2 用量：0.5m3/周期 |
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冷卻水 |
入口壓力：2.0±0.5kg/cm2 入，出口壓力：＜2kg/cm2 入口水溫：10℃＜溫度＜20℃ 流量：最大6m3h |
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電控系統電源 |
電壓：380VAC 功率：150KW 頻率：50HZ 相數：3 |
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真空配置 |
分子泵、機械泵、閘板閥、真空管道 |
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真空測量系統 |
真空管道真空測量采用雙控制保險配置測量范圍：大氣壓到6×10-7Pa |
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自動控制系統 |
PAC全自動運行程序 |
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氣路系統 |
四路氬氣進路系統，爐膛氬氣為兩級充氣系統 |
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水冷卻系統 |
爐體發熱部分冷卻系統，設有總進總出水管各一路，總進水設有水壓傳感器，主要工作回路設有水流和水溫傳感器 |
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設備占地面積 (長×寬×高) |
2240×1130×3020mm3 |
集研發、制造、銷售、技術服務于一體的現代高科技企業
電話：0371-55027790 / 55027782 / 15637176302
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